中微公司：公司正在开发新一代的刻蚀机 时间:2020-04-17 13:29:56 浏览:764 器件 产品 设备 公司 大马士革 公司董事长、总经理尹志尧：和国际领先的设备公司的产品相比，中微公司产品的技术水平和综合性能，在大多数工艺过程的应用上处于同样的水平。对于一些最高端的刻蚀应用如存储器件的极高深宽比介质刻蚀和逻辑器件的大马士革刻蚀等应用上，中微的刻蚀机还有不足的地方，还需进一步技术创新和设备的升级。我们正在开发新一代的刻蚀机，以向客户提供更好刻蚀设备。（文章来源：证券时报）